臺(tái)式電鏡SEM是一個(gè)相對(duì)年輕且發(fā)展迅速的產(chǎn)品。其實(shí)許多應(yīng)用領(lǐng)域并不需要使用低于1nm的高分辨率掃描電鏡(SEM),10nm的分辨率是綽綽有余的。然而,由于材料特征點(diǎn)尺寸越來(lái)越小和觀測(cè)需求的增加,而且它的放大倍數(shù)可高達(dá)130,000倍。此類新型儀器的出現(xiàn)*光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的空白區(qū)域,可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
臺(tái)式電鏡SEM的樣品制備方法:
1.佩戴無(wú)粉手套,使用鑷子把丁型樣品臺(tái)放置在制樣臺(tái)上(嚴(yán)禁在樣品杯中直接制備樣品,以免污染樣品杯!)。
2.剪取導(dǎo)電膠并將其一面粘于丁型樣品臺(tái)上,之后將樣品粘于導(dǎo)電膠的另一面(導(dǎo)電膠與樣品嚴(yán)禁超出樣品臺(tái))。
3.若樣品為塊體或片狀,將待觀測(cè)的表面朝上,把樣品粘附在導(dǎo)電膠上。若要觀察樣品的截面,則須使用截面樣品臺(tái),將導(dǎo)電膠貼在樣品臺(tái)的截面上,與樣品臺(tái)上表面恰好呈90度垂直,再把樣品粘附在導(dǎo)電膠上,確保觀察的立面朝正上方。
4.若樣品為粉末狀,用藥勺或牙簽取少量粉末,將其分散地灑在導(dǎo)電膠上,用鑷子夾住樣品臺(tái),在桌面上輕輕磕碰,使得沒(méi)有粘住的樣品更加松散,以便后續(xù)清除。
5.若樣品為磁性塊體,須用更多的導(dǎo)電膠加固樣品的四周。樣品磁性要弱,而且必須為薄片,否則不好加固。塊體過(guò)小會(huì)影響加固效果,為保證加固效果滿足電鏡要求,應(yīng)使用大樣品臺(tái)配合稍大的磁性塊體。磁性粉末不能直接進(jìn)行測(cè)試,須濺射在一個(gè)基底上面,無(wú)法自由移動(dòng)才能進(jìn)行測(cè)試。