臺(tái)式電鏡不僅繼承了電子大型電鏡強(qiáng)大的功能,相對(duì)于大型掃描電鏡,其自動(dòng)化程度高,操作簡(jiǎn)單便捷,維護(hù)保養(yǎng)容易,體積小巧,價(jià)格低廉,檢測(cè)速度快,從啟動(dòng)裝填樣品到測(cè)試出結(jié)果僅需5分鐘左右。還創(chuàng)新的加入了實(shí)時(shí)能譜分析和實(shí)時(shí)3D顯示的功能,更高效便捷的服務(wù)于您的研究和工作。
臺(tái)式電鏡的成像方式在電鏡中,對(duì)電子束進(jìn)行折射的物質(zhì)為電場(chǎng)或磁場(chǎng),中心對(duì)稱(chēng)的磁場(chǎng),其成像性質(zhì)和高斯透鏡幾何光學(xué)一級(jí)近似,被稱(chēng)為磁透鏡。磁透鏡可以是永磁和電磁。地球沿著南北極貫穿,可以看做一個(gè)巨大的磁透鏡,磁透鏡焦距固定;電磁透鏡通過(guò)改變線(xiàn)圈電流可改變透鏡磁場(chǎng)強(qiáng)度,從而改變透鏡焦距。
電子顯微成像方式說(shuō)明:
采用平行入射電子束照射樣品,后續(xù)的電磁透鏡通過(guò)同時(shí)聚焦從樣品各個(gè)像素點(diǎn)發(fā)出的不同散射方向透射電子,從而對(duì)電子束照射區(qū)域進(jìn)行放大成像,通過(guò)調(diào)節(jié)中間的電磁透鏡焦距,可實(shí)現(xiàn)放大倍數(shù)調(diào)節(jié),后用投影鏡將物像照射在圖像記錄或顯示上;SEM使用匯聚電子束照射樣品,逐點(diǎn)掃描成像,空間分辨率和匯聚電子束束斑直徑相關(guān),通過(guò)改變電子束掃描區(qū)域大小來(lái)改變放大倍數(shù)。
誰(shuí)想到使用電子束作為光源顯微成像,可見(jiàn)光的本質(zhì)是電磁波,19世紀(jì)光學(xué)進(jìn)入波動(dòng)光學(xué)范疇;同時(shí)19世紀(jì)后期,麥克斯韋方程組將經(jīng)典物理電動(dòng)力學(xué)推向,并揭示可見(jiàn)光的電磁波屬性。